晶圆架取空报警应用

碟片被冲洗后检察架子上是否有碟片存在。

Description

碟片放在透明容器中,在清洗机械中清洗后,对射式T18超声波传感器能可靠检测架子上是否有盘片存在。因为有飞溅物液体,不推荐光电传感器感在这种情况应用。

U-GAGE T18U 系列

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