晶圆平整度检测
检测垂直轴上的晶片
Description
MINI-BEAM专家型漫反射传感器,可见红光,可以检测镜面物体的位置,自教模式可编程可以在目标物和传感器间指定一个很小的范围,一致于可以再一个不确定的位置检测高污染的晶片.
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MINI-BEAM 专家 系列 |
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检测垂直轴上的晶片
MINI-BEAM专家型漫反射传感器,可见红光,可以检测镜面物体的位置,自教模式可编程可以在目标物和传感器间指定一个很小的范围,一致于可以再一个不确定的位置检测高污染的晶片.
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