晶圆凸出和归位检测
验证晶片没有伸出盒子的界限外
Description
在转移门被关闭前,利用M12激光发射和S12接受组成一对,来检测是否有晶圆从另外一侧突出
|
PicoDot PD 系列 |
|
| Learn more » |
|
S12 系列 |
|
| Learn more » |
验证晶片没有伸出盒子的界限外
在转移门被关闭前,利用M12激光发射和S12接受组成一对,来检测是否有晶圆从另外一侧突出
|
PicoDot PD 系列 |
|
| Learn more » |
|
S12 系列 |
|
| Learn more » |