晶圆居中检测
茼蚚: 通过确定晶片中心位置来进行机械手移动
Description
在机械手上的三个D12传感器来确定晶体的中心位置,当每个光线被遮挡时,控制器就可以读到这些传感器的输出信号,另外机器人的位置编码器信息也送到控制器,再通过传感器输出的信号来进行分析比较来共同确定机械手抓取晶体的位置.
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D12 系列 |
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茼蚚: 通过确定晶片中心位置来进行机械手移动
在机械手上的三个D12传感器来确定晶体的中心位置,当每个光线被遮挡时,控制器就可以读到这些传感器的输出信号,另外机器人的位置编码器信息也送到控制器,再通过传感器输出的信号来进行分析比较来共同确定机械手抓取晶体的位置.
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