适用于感光材料的琥珀色照明

为光刻工艺选择照明解决方案具有挑战性，因为白光包含一定比例的蓝色波长，这会对感光材料产生负面影响。继续阅读，了解邦纳的WLS15琥珀色LED双色灯带如何在不影响未显影光刻胶的情况下照亮无尘室。 

在半导体制造领域，光刻工艺涉及到使用光敏聚合物（也称为光刻胶）将图案从掩膜转移到基板上。  未显影的光刻胶对白光敏感，尤其是荧光灯和某些 LED 发出的蓝光波长 (400 nm)。 因此，在光刻过程中，不能用白光照亮无尘室。

如果使用荧光粉转换 LED，黄色和琥珀色色调的光也会有问题。荧光粉转换 LED 在蓝色 LED 上涂覆一层荧光粉涂层来实现黄色，因此不适合用于光敏应用。例如，WLS15 黄色型号使用的是荧光粉转换黄色 LED（InGaN），但仍能发出蓝色波长，如下图所示。

不过，WLS15 琥珀色型号可安全用光敏应用，因为它们由非荧光粉转换 LED（AlInGaP）组成。  这些 LED 的光谱输出超过 560 nm，蓝色波长含量低于 0.35%。  黄色和琥珀色光谱光输出对比见下图。 

WLS15 灯带的双色功能为光敏应用提供了更多的通用性。WLS15 灯带有琥珀色和日光白 LED，半导体制造商可根据需要在这两种颜色之间进行切换。当光刻工艺完成且所有光刻胶都已显影后，无尘室就可以用白光照明，在维护和清洁过程中提高能见度。

WLS15 外壳纤薄小巧，安装方式多样，可以轻松安装到现有的机柜或工作站中，不会阻碍视线或影响现有框架。与安装在天花板网格中的标准光源相比，这种灵活的安装方式可将明亮的光线投射到最需要的地方，并消除阴影。此外，WLS15 双色 LED 灯带是独立装置，因此不需要使用滤光器或灯泡罩。