监测压缩空气管路中的湿度
利用 S24 露点传感器和 DXM 控制器改善压缩空气系统中的空气质量:监测湿度,防止出现生产问题并保护设备。
晶圆中心检测。确定晶片在机械臂上、真空室中和盒中的位置。识别细键合线中的微小断裂。邦纳的光纤放大器、激光传感器和光电传感器可精确检测精密元件,从而实现高质量的先进半导体技术。
对半导体的需求从未如此之大,而邦纳拥有提供前沿工业解决方案的专业技术。它们可以提高生产质量,减少昂贵的材料浪费,监测工作区的状况,并保证安全。
邦纳为全球半导体行业带来了先进的生产技术。我们提供的解决方案包括用于检测IC芯片的高品质激光测距传感器、用于紧凑空间和光刻机洁净室的照明产品、用于保护物品和工人免受静电放电影响的安全技术以及无线状态监测设备。
利用 S24 露点传感器和 DXM 控制器改善压缩空气系统中的空气质量:监测湿度,防止出现生产问题并保护设备。
监控关键应用中的泄漏情况,并在发生泄漏时接收实时警报。
发现小问题以免演变为影响机器性能和正常运行时间的重大问题。
集成电路导线架在一个U形通道上移动到容纳多个接线架的盒子上。D10 Expert模拟量/开关量传感器可检测前缘和后缘,以便向导线架接入的盒子发出信号。传感器在对射模式下检测,由于框架材料的反射率差异较大,因此无法进行漫反式检测。
D10 Expert传感器的光纤沿盒中的晶圆移动,检测哪些槽已被占用以及哪些槽处于空置状态。柱状指示灯指示传感器的状态。
在模片键合和引线键合的过程中,导线架会在一个较高的垂直盒中输送。为了提高传输率,要对盒子进行检查,以确定每个插槽中是否存在导线架。由于导线架可以薄至0.1毫米,因此很难觉察到。VS1聚焦式传感器可轻松检测到这个薄薄的轮廓,以及非反光塑料球栅格阵列(PBGA)。
D10 Expert的总线电源功能允许将最多16个传感器连接到一起并由一个电源供电,从而减少所需的布线数量,在没有多个连接点的情况下也能使用多个传感器。通过将传感器安装在DIN导轨上,可利用光纤来监视密闭空间中的多个检查点,从而为空间提供进一步的保护。
PicoDot传感器可用于同时检测相同晶片的边缘。如果只有一个传感器检测晶片边缘,那么该晶片最有可能倾斜插入或者交叉开槽。
必须使用精密测量解决方案确保集成电路 (IC) 芯片存在并以正确的方向嵌入。了解 LM 激光测量传感器如何解决该应用。
通过将邦纳DF-G2与四套对射式PLIS-1光纤配合使用,操作员可确保将晶圆正确地放置在机械臂的末端执行器上,从而确保将晶圆传递到真空室内时不会出现损坏。
SC10 系列安全控制器用一个紧凑、经济高效的设备取代了三个安全继电器的功能,提供直观的操作和先进的功能。
在此应用中,机器操作员需要进入晶圆载体台。EZ-SCREEN ESD安全光幕系统可配置为对该过程以及操作员使用发射器、接收器和反射镜的过程加以安全防护,从而将载体台的三个侧面封闭起来。安全光幕与物理屏障相比,不仅可防止机器在操作员进入危险区时发生移动,同时还允许操作员更快速、方便地进入。
邦纳WLS27是一种坚固耐用的LED灯带,专为在挑战性环境和紧凑空间下提供明亮、均匀的照明而设计。它们具有节省空间的空气动力学设计并完全封装在防护外壳中,同时有多种照明颜色供选择。只要适合工作区域照明,机器设计师就可以安装WLS27 LED灯带,而无需对灯具进行成本高昂或耗时的修改。
为光刻过程提供照明很有难度,因为白光包含一定比例的蓝色波长,这会对感光材料产生负面影响。WLS15 灯带可以在两种颜色之间切换,安全地用于光刻过程。
为优化效率和产出,必须密切监控单晶圆沉积机中多个 FOUP 的进度。在这些机器附近工作的员工若是长时间暴露在塔灯的强光之下,会导致眼睛和身心疲劳。继续阅读本文,了解 TL30 基本型塔灯如何解决此应用。
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