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  • 半导体加工工具的照明

    半导体工艺工具照明图像
    半导体工艺工具照明图像
    WLS27点亮
    WLS27熄灭

    应用:表面处理系统中的照明

    挑战:环境会限制灯具的安装位置并会让它们暴露在刺激性的化学制品中

    解决方案:WLS27 LED条形照明灯

    好处:节省空间的空气动力学设计,达到 IEC IP66、IP67和IP69K防护等级

    照亮表面处理系统或其他半导体行业加工工具内部是一项极具挑战的任务。灯具不得扰乱通过系统的层状气流,因此空间限制会严格限制灯具的安装位置。含有白光的某些灯光颜色会对系统工艺造成负面影响。此外,这些灯具可能会暴露于刺激性且具有破坏性的化学制品以及蒸汽中,从而影响并腐蚀表面。

    将灯具固定在不会干扰气流的特殊保护外壳中会增加安装时间和费用,并可能使日常维护变得复杂。通常,灯具只需安装到加工工具的角落,这样就不会扰乱气流,而且也不用考虑空间问题。但在这些位置安装时,灯具又可能无法充分照亮工作区域。

    说明

    邦纳WLS27是一种坚固耐用的LED条形照明灯,专为在挑战性环境和紧凑空间下提供明亮、均匀的照明而设计。它们具有节省空间的空气动力学设计并完全封装在防护外壳中,同时有多种照明颜色供选择。只要适合工作区域照明,机器设计师就可以安装WLS27 LED条形照明灯,而无需对灯具进行成本高昂或耗时的修改。

    在加工工具内部,多个430毫米LED条形照明灯安装在工作区域的正上方,从而让清晰、明亮的黄光照亮空间,适合在光刻工艺中使用。每个灯都会悬挂在距离工具顶部大约250毫米的位置,直接处于气流中。但是,灯具的圆柱形状不会扰乱此清洁空间中所需的层状气流。

    每个LED条形照明灯都完全封装在多重密封的防碎聚碳酸酯外壳中,可防止水或其他液体进入,并且达到IEC IP66、IP67和IP69K防护等级。此应用中使用的聚碳酸酯支架可确保整个安装得到彻底保护,免受化学品或蒸汽造成的任何疤痕或腐蚀损坏。这些经济实惠的LED照明灯将在其整个50,000小时甚至更长的生命周期中提供明亮、免维护的照明。

    特色产品

    WLS27 Shatterproof LED Light for Harsh Environments
    用于恶劣环境的WLS27防碎LED灯

    完全包裹在防碎,耐化学外壳中。IP69K防护等级,无惧冲洗。多种颜色可选,既可以照明也可以指示。

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