ESD静电敏感环境中的机器安全防护

使用安全光幕来对工作单元进行防护是取代实体防护和出入门的一种高效实用的方法。对半导体晶圆加工过程进行安全防护时，还必须特别小心和注意解决有关静电放电(ESD)的问题。应用正确的安全组件可以为员工提供安全防护，同时保护设备和半导体产品。

在此应用中，机器操作员需要进入晶圆载体台。EZ-SCREEN ESD安全光幕系统可配置为对该过程以及操作员使用发射器、接收器和反射镜的过程加以安全防护，从而将载体台的三个侧面封闭起来。安全光幕与物理屏障相比，不仅可防止机器在操作员进入危险区时发生移动，同时还允许操作员更快速、方便地进入。

此外，由于静电放电会损坏产品或干扰自动化过程，所以此应用还要求安全设备能降低静电放电几率。EZ-SCREEN ESD安全光幕采用特殊的镀镍外壳，可以消除静电放电。这款ESD版的EZ-SCREEN具备与标准版产品系列相同的所有编程、设置和功能。